ศาลแขวงราชบุรีจัดตั้งขึ้นโดยอาศัย “พระราชกฤษฎีกากำหนดจำนวนเขตอำนาจและวันเปิดทำการของศาลแขวงในบางจังหวัด พ.ศ.2500 มาตรา 15” ในจังหวัดราชบุรีให้มีศาลแขวง 1 ศาล มีเขตอำนาจในอำเภอเมืองราชบุรี เปิดทำการตั้งแต่วันที่ 1 มิถุนายน พ.ศ.2500 เป็นต้นไป

พ.ศ.2517 ได้มีพระราชกฤษฎีกาเปลี่ยนแปลงเขตอำนาจศาลแขวง พ.ศ.2517  มาตรา 15 ให้ศาลแขวงราชบุรีในจังหวัดราชบุรี ซึ่งมีเขตอำนาจในอำเภอเมืองราชบุรีมีเขตอำนาจในอำเภอเมืองจอมบึง อำเภอดำเนินสะดวก อำเภอบางแพ อำเภอบ้านโป่ง อำเภอปากท่อ อำเภอโพธาราม และอำเภอวัดเพลงด้วย

ตัวอาคารเดิมเป็นที่ทำการของศาลจังหวัดราชบุรีมาก่อน เป็นอาคารตึกก่ออิฐถือปูน 2 ชั้นรูปทรงเป็นสถาปัตยกรรมแบบตะวันตกรุ่นเก่า สร้างตั้งแต่ ร.ศ.125 การตกแต่งภายในและภายนอกตัวอาคารเป็นศิลปะแบบตะวันตก มีห้องโถงใหญ่ชั้นล่าง 1 ห้อง ชั้นบนมีห้องโถงใหญ่ 1 ห้องเช่นเดียวกัน

พ.ศ.2521 ซ่อมแซมบรรลุผลสำเร็จ และกรมศิลปากรได้ขึ้นทะเบียนอาคารที่ทำการศาลแขวงราชบุรีหลังนี้ไว้เป็นโบราณสถาน